欢迎访问本站!

首页科技正文

Usdt第三方支付平台(www.caibao.it):ASML到底卖了若干EUV光刻机?

admin2021-07-26161

新2手机会员端

www.x2w3333.com)实时更新发布最新最快的新2手机会员端网址、新2手机会员端线路、新2手机会员端备用登录网址、新2手机会员端管理端、新2手机会员端手机版登录网址、新2手机会员端皇冠登录网址。

,

泉源:内容由半导体行业考察(ID:icbank)原创,作者:蒋思莹,谢谢。

EUV光刻机随同着7nm先进制程而来,又随着5nm及以下工艺的生长而有望获得进一步的壮大。行使EUV光刻机,台积电和三星将他们的晶圆卖往了全球各地,同时在市场对先进工艺的需求下,他们也拿出数百亿美元砸向了EUV光刻机的采购。

不仅云云,据工商时报日前的报道称,台积电还将启动EUV连续改善设计(Continuous Improvement Plan,CIP),希望在略为增添芯片尺寸的同时,削减先进制程EUV光罩使用道数,以降低3nm“曲高和寡”问题。

就在台积电和三星正在行使EUV光刻机在先进制程的蹊径上飞速生长的同时,英特尔新任CEO Pat Gelsinger也在今年加入加入摩根大通的 *** 时示意,英特尔将周全拥抱EUV光刻工艺,并会对EUV工艺举行多代重大改善。

在引入EUV光刻机这条路上,先进工艺在前面跑,DRAM在后面追。包罗三星、SK海力士以及美光等存储龙头也相继有了将EUV引入DRAM的设计。在今年7月,韩国存储厂商SK海力士宣布,公司第一代使用EUV光刻机生产的DRAM正式量产。

在这些市场的推动下,EUV光刻机站在了半导体市场的聚光灯下。ASML作为现在唯一可以提供EUV光刻机的供应商,他们到底卖了若干EUV光刻机?

ASML EUV光刻机都有哪些?

EUV光刻机的泛起,也是延续摩尔定律的主要一部门。于是,依附着陶醉式光刻而崛起的ASML也最先将其创新的眼光投向了EUV光刻手艺。到2006年,ASML推出了两个Alpha EUV演示工具,一个被送到了imec,另一个被送到了到奥尔巴尼(纽约州与IBM和ASML互助的奥尔巴尼大学研究中央)。

2010年,ASML出货了他们的第一台光刻装备NXE:3100。NXE:3100的数值孔径为0.25,在同样的制程条件下,NXE:3100的晶圆加工产出量相比早先推出的EUV Alpha Demo Tool光刻机提升了20倍左右,而产出量的极大提升则是源自于新机型光源功率的提升,透射率的提升以及双事情台(dual stage:即可同时加工两片晶圆)的新设计。据相关媒体报道,ASML总共运送了六台NXE:3100,划分运往了三星、imec、英特尔、东芝、海力士和台积电。继NXE:3100之后,ASML于2013年推出了量产型NEX:3300B。

2015年又推出了NXE 3350B。凭证ASML所宣布的2015年的年报中显示,公司两套第四代EUV光刻系统(NXE:3350B)已经出货,并最先发货第三个。同时,通过CCIP(CCIP是ASML于2012年提出一项“客户团结投资设计”,三大主要的Foundry厂商――英特尔,三星和台积电也是在这一年成为了ASML的股东)获得了部门EUV研发项目的资金。同时,ASML在荷兰的Veldhoven开设了新的EUV工厂,实现了批量发货。可以说,2015年,对于ASML EUV光刻机是乐成的一年。

于2012年启动的CCIP设计,在5年以后竣事了。也正是在这一年,ASML的EUV光刻机有了里程碑式的希望――ASML在其2017年中的年报中这样写到:“2017年,我们在EUV系统方面再次取得重大希望,通过运输第一个NXE:3400B系统,更靠近大批量生产。”

据其官网先容,TWINSCAN NXE:3400B支持7纳米和5纳米节点的EUV量产。NXE:3400B每小时处置晶圆数不低于125片(125 wph),在实验室中可达140片。ASML也在其财报中称,随着ASML的EUV系统在2017年到达大批量生产的水平,他们也最先探索若何实现这些系统的节能。

(图片泉源:ASML官网)

2018年,为了连续推进EUV手艺向大批量生产阶段生长。ASML展示了每小时145片晶圆的生产能力,高于2017年的每小时125片晶圆,而且正在起劲实现92%的生产时间(可用性)一致的性能。

接下来,在2019年第三季度中,ASML新一代EUV光刻机NXE:3400C最先出货。据ASML先容,这个新装备是以“NXE:3400B”为基础,首次开发降低重合误差的版本,而在后续的生长则是是以“降低重合误差版本”为基础,开发提高生产性能的版本(NXE:3400C每小时生产170片晶圆,可用率跨越90%)。wikichip也称其是第一个完周全向HVM的系统。

(图片泉源:ASML官网)

ASML并没有止步,在其今年最新宣布的财报中显示,ASML的最新一代EUV光刻机NXE:3600D系统已发货给客户。据领会,与NXE:3400C相比,该系统提供15%至20%的生产力改善能力和约30%的笼罩改善。ASML现在正在为内存批量生产EUV,并设计在三个DRAM客户的未来节点上实行EUV。

可以看出,ASML每推出一代EUV光刻机,新装备的生产能力也在稳步提升。而ASML之以是能够在EUV光刻机上取得乐成,不仅有他们自身的实力做基础,也包罗他们针对这一手艺所举行的一系列收购,其中包罗在2013年完成了对美国光源制造商Cymer的收购、2016年对拥有最先进的电子束检测手艺厂商HMI的收购、以及2017年完成了对德国Carl Zeiss SMT GmbH 24.9%间接权益的收购。

ASML卖了若干台光刻机

ASML经由数十年的起劲,将EUV光刻机乐成应用到了现实生产当中,并实现了量产。那么,这些年中,ASML到底卖了若干台光刻机?ASML所宣布的历年财报中,透露了他们EUV系统的销售量。

(泉源:ASML 2017年年报)

Usdt第三方支付平台

菜宝钱包(www.caibao.it)是使用TRC-20协议的Usdt第三方支付平台,Usdt收款平台、Usdt自动充提平台、usdt跑分平台。免费提供入金通道、Usdt钱包支付接口、Usdt自动充值接口、Usdt无需实名寄售回收。菜宝Usdt钱包一键生成Usdt钱包、一键调用API接口、一键无实名出售Usdt。

从ASML在2017年宣布的年报中可以看出,从2017年最先,其EUV系统的销售数目就泛起了飞跃,其在昔时所推出的NXE:3400B则是最大的动力――凭证其年报显示,2017年,ASML向客户出售10台NXE:3400B EUV系统。

2018年,ASML出售了18个EUV系统,其中17个是NXE:3400B EUV系统。

(泉源:ASML 2018年财报)

ASML在其2019年的年报中用大写加粗的字体写下了这样一则新闻――The NXE:3400C is expected to deliver cost-effective shrink for both Logic and DRAM(NXE:3400C有望为逻辑和DRAM的缩短带来成本效益)。

从出货量上看,ASML在2019年中的年报中显示,公司预计2019年EUV的出货量会逐年增添,从18个增添到30个,然则由于供应链暂时延迟,最初设计在2019年发货的四个EUV系统现在将在2020年头发货。只管存在这些挑战,我们乐成地发货了26个EUV系统,包罗公司第一款用于大批量制造的NXE:3400C。2019年,ASML总共出货了9台NXE:3400C。

(泉源:ASML 2019年年报)

在接下来的2020年中,ASML共销售了31台EUV系统。而凭证相关媒体在今年1月的报道显示,而停止至2020年底,ASML一共出货了100台EUV光刻机。

进入到2021年中,停止到今年7月4日的数据显示,ASML已经售出了16台EUV系统。

(泉源:ASML 2021年中报)

EUV光刻机营收占比越来越大

从ASML自2017年推出NXE:3400B后,EUV光刻机最先正式被各大厂商应用到现实生产。也是从这一年最先,EUV光刻机也成为了ASML营收和毛利的支柱之一。

凭证其2017年财报显示,ASML 2017年�I收年增33.2%至90.53亿欧元、毛利率自44.8%升至45.0%。ASML在其年报中示意,毛利率的提高主要是由于系统产物结构转向更高端的系统,部门抵消了EUV系统销售的增进。由于加速了对EUV服务基础设施的投资,与2016年相比,EUV净销售额增添了两倍多,我们仍能够将毛利率提高到45.0%。

2019年,ASML推出了新一代的EUV系统,反映在其营收上的显示是,整年营收为118.2亿欧元,同比增进了8%,毛利率从46%下滑到了44.7%,整年净利润25.92亿欧元,维持稳固。总计出货了26台EUV光刻机,比2018年的18台有了显著增进,使得EUV光刻机的营收占比也从23%提升到了31%。

2020年,EUV系统依旧为ASML带来了伟大的经济效益――总净销售额从2019年的118.20亿欧元(2018年:109.44亿欧元)增添到2020年的21.585亿欧元,即18.3%,到达139.785亿欧元(2018年:109.44亿欧元)。ASML在其年报中示意,这是由于EUV销量增添、EUV平均销售价钱提高所致NXE:3400C相对于NXE:3400B以及我们服务和现场选项营业的增进。逻辑部门在2020年继续保持强劲势头,也是我们最先进的EUV系统的最大消费者。内存需求在2019年下滑后于2020年回升。韩国的地域销售增进最大,以支持扩大晶圆代工和DRAM生产线的产能。

未来的生长

在生长EUV系统的同时,ASML还在对未来举行了结构,他们以为EUV系统未来将走向High-NA。

关于High-NA的身影,也泛起在了ASML 2017年的年报中。公司指出,我们也已经最先开发未来10年的下一代EUV光刻系统,使用一种叫做High-NA的手艺。这项手艺将使半导体行业能够以更低的成本生产出性能更高的微芯片。下一代EUV光学器件将提供更高的数值孔径,使进一步削减光刻历程中的要害尺寸成为可能。现在的EUV系统的光学系统的数值孔径为0.33,而新的光学系统的数值孔径将大于0.5,从而可以实现几代的几何芯片缩放。

在ASML 2019年的年报中,High-NA这一手艺同样作为R&D中的一项主要支出,泛起在其年报当中。根据其年报的新闻显示,公司正在扩展我们的蹊径图,包罗High-NA,以支持我们的客户3纳米逻辑。

2020年对于ASML来说是手艺突破、创新和互助的一年,在这一年中,比利时的imec取得了突破,展示了ASML的NXE:3400B EUV系统若何在单次曝光中打印窄间距线(24 nm)。这将有助于imec和互助同伴开发光刻胶质料,以支持ASML下一代EUV系统High-NA的引入。ASML在其财报中示意,High-NA这项手艺将使几何芯片缩放跨越当前十年,提供比我们当前的EUV平台高70%的分辨率和笼罩能力。

在2021年上半年的财报中,ASML也指出,公司将继续投资EUV的大批量制造,完成NXE:3600D的开发,并进一步提高我们安装的基础系统的可用性和生产力。此外,我们的蹊径图包罗High-NA,我们的下一代0.55NA系统,以支持我们的客户2纳米逻辑及以上,以及类似密度的内存节点。

根据ASML在2020年报中宣布的设计来看,2024年半导体行业终端市场将会带给High-NA时机,到2025年,ASML将最先出货High-NA系统和大批量生产使用High-NA的系统。

写在最后

通过ASML财报中所透露出来的大量数据来看,到现在为止,ASML已经出售了100多台EUV系统。虽然ASML并没有在其财报当中说明这些EUV系统花落谁家,但从其财报中所透露出来的2020年在亚洲的中国台湾、韩国等地开设EUV 培训中央的动作上,也不难猜出这些EUV光刻机的最终归宿。

网友评论